• Refine Query
  • Source
  • Publication year
  • to
  • Language
  • 86
  • 20
  • 8
  • 2
  • 2
  • 1
  • 1
  • 1
  • Tagged with
  • 119
  • 48
  • 34
  • 21
  • 18
  • 17
  • 15
  • 10
  • 10
  • 9
  • 8
  • 8
  • 8
  • 8
  • 7
  • About
  • The Global ETD Search service is a free service for researchers to find electronic theses and dissertations. This service is provided by the Networked Digital Library of Theses and Dissertations.
    Our metadata is collected from universities around the world. If you manage a university/consortium/country archive and want to be added, details can be found on the NDLTD website.
111

Návrh podnikového finančního plánu / Proposal of the Company's Financial Plan

Přibyl, Pavel January 2011 (has links)
This thesis with title „Proposal of the Company's Financial Plan“ consits of two basic part. Theoretical part deals with theoretical ways out of financial planning. In the practical part there are performed the analyses of contemporary state of the company STABILA ČR, s. r. o. Afterwards there is the financial plan alone made-up for the years 2011 – 2013. The end of this thesis is formed by evaluation of created financial plans.
112

Studie MÚK silnic R43 s I/43 / Study of R43/ I/43 Grade Separated Junction

Libichová, Jana January 2013 (has links)
Aim of this Master´s thesis is the road adjustment and design of new grade separated junction highway R43 and road I/43,of Černá Hora – Svitávka and to design optimal distribution of transport hubs including the design II/150 and III/37429, which should be connected with existing roads.The adjustment of the routes will be designed in the necessary extent with the optimal distribution of transport hubs regarding the best transport and economical solution and with minimal impact on the enviroment.
113

Performance Evaluation of Kubernetes Autoscaling strategies on GKE clusters / Prestandautverdering av autoskalningsstrategier på GKE-kluster

Nilsen, Johanna January 2023 (has links)
Cloud computing and containerisation have experienced significant growth in recent years. With cloud providers requiring users to specify resource limits and requests, the need for performance and resource optimisation has emerged in the cloud computing domain. This thesis focuses on examining three autoscaling approaches in the Kubernetes container orchestrator: Hybrid Pod Autoscaler, Vertical Pod Autoscaler (VPA), and Horizontal Pod Autoscaler (HPA). To conduct the analysis, a production-grade microservice was deployed on a GKE cluster, replicating the workload of the host company Nordnet Bank AB, a pan-Nordic platform for savings investments. The main objective was to investigate the impact of the different autoscalers on the 50th and 99th percentile response times. The study also aimed to investigate whether a hybrid pod autoscaler, combining VPA and HPA, could outperform HPA and VPA in terms of response time and CPU usage. Additionally, the study aimed to identify the service metrics that an orchestrator can use to achieve response times similar to those obtained when resources are over-provisioned. The research findings indicate that response times varied significantly depending on the autoscaling strategy. While the 50th percentile response times remained consistent, the 99th percentile exhibited greater variation. Among the strategies, HPA demonstrated consistent performance, albeit with greater variability in the 99th percentile response times. The VPA strategy, in contrast, resulted in higher response times for both the 50th and 99th percentile compared to the baseline. The hybrid approach generally outperformed VPA in terms of response times while showing comparable performance to HPA, although with slightly greater variability. CPU usage patterns of the hybrid approach were more closely aligned with HPA than VPA. CPU usage and request rate were effectively used as service metrics for orchestrators in achieving acceptable 99th percentile response times, as demonstrated by both HPA and the hybrid approach. Nevertheless, these findings are contingent on the specific autoscaler configuration, microservice, and workload model used in this study and may not be universally applicable. / Cloud computing och containerisering har under de senaste åren haft en betydande tillväxt. I och med att molnleverantörer ger användare möjlighet att själva specificera resursgränser, har behovet för prestanda- och resursoptimering inom molntjänster blivit alltmer framträdande. Denna forskning fokuserar på att undersöka och utvärdera tre olika autoskalningsmetoder i Kubernetes containerorkestrator: Hybrid Pod Autoscaler, Vertical Pod Autoscaler (VPA) och Horizontal Pod Autoscaler (HPA).För att genomföra utvärderingen implementerades tre mikrotjänster i en GKE-klustermiljö. Arbetsbelastningen hos den svenska banken och handelsplattformen Nordnet Bank AB replikerades. Det primära syftet med studien var att undersöka hur de olika autoskalningsmetoderna påverkade svarstiden i den 50:e och 99:e percentilen. Utöver detta, syftade också till att undersöka om en hybrid pod autoscaler, som kombinerar både VPA och HPA, kunde överträffa de enskilda metoderna i svarstid och CPU-användning. Dessutom identifiera vilka mätvärden en orchestrator kan använda för att uppnå svarstider som liknar dem som uppnås när resurserna överdimensionerade. Resultaten från forskningen visar att svarstiderna varierade avsevärt beroende på vilken autoskalningsstrategi som användes. Medan svarstiderna för 50:e percentilen var relativt konsekventa, uppvisade 99:e percentilen större variation. HPA visade generellt sett jämn prestanda, men med en något större variation i 99:e percentilen av svarstider. Å andra sidan resulterade VPA i högre svarstider både för 50:e och 99:e percentilen. Hybridmetoden presterade generellt sett bättre än VPA när det gäller svarstider och visade liknande resultat som HPA, även om det fanns en något större variabilitet. Mönstret för CPU-användning för hybridmetoden låg närmare HPA än VPA. CPU-användning och förfrågningshastighet visade sig vara effektiva mätvärden för att uppnå acceptabla svarstider i 99:e percentilen, vilket bekräftades av både HPA och hybridmetoden. Det är dock viktigt att notera att dessa resultat är specifika för den autoskalningskonfiguration, mikrotjänst och arbetsbelastningsmodell som användes i studien och kanske inte är universellt tillämpliga.
114

Growth of carbon nanotubes on different support/catalyst systems for advanced interconnects in integrated circuits / Wachstum von Kohlenstoffnanoröhren auf verschiedenen Untergrund/Katalysator-Systemen für zukünftige Leitungsverbindungen in integrierten Schaltkreisen

Hermann, Sascha 15 November 2011 (has links) (PDF)
Since there is a continuous shrinking of feature sizes in ultra-large scale integrated (ULSI) circuits, requirements on materials and technology are going to rise dramatically in the near future. In particular, at the interconnect system this calls for new concepts and materials. Therefore, carbon nanotubes (CNTs) are considered as a promising material to replace partly or entirely metal interconnects in such devices. The present thesis aims to make a contribution to the CNT growth control with the thermal chemical vapor deposition (CVD) method and the integration of CNTs as vertical interconnects (vias) in ULSI circuits. Different support/catalyst systems are examined in processes for catalyst pretreatment and CNT growth. The investigations focus on the catalyst formation and the interactions at the interfaces. Those effects are related to the CNT growth. To get an insight into interactions at interfaces, film structure, composition, and CNT growth characteristics, samples are extensively characterized by techniques like AFM, SEM, TEM, XRD, XPS, and Raman spectroscopy. Screening studies on nanoparticle formation and CNT growth with the well known system SiO2/Ni are presented. This system is characterized by a weak support/catalyst interaction, which leads to undirected growth of multi-walled CNTs (MWCNTs). By contrast, at the Ta/Ni system a strong interaction causes a wetting of catalyst nanoparticles and vertically aligned MWCNT growth. At the system W/Ni a strong interaction at the interface is found as well, but there it induces Stranski-Krastanov catalyst film reformation upon pretreatment and complete CNT growth inhibition. Studies on the SiO2/Cr/Ni system reveal that Cr and Ni act as a bi-catalyst system, which leads to a novel nanostructure defined as interlayer CNT (ICNT) structure. The ICNT films are characterized by well crystallized vertically aligned MWCNTs, which grow out a Cr/Ni layer lifted off as a continuous and very smooth layer from the substrate with the growth. Besides, this nanostructure offers new possibilities for the integration of CNTs in different electronic applications. Based on the presented possibilities of manipulating CNT growth, an integration technology was derived to fabricate CNT vias. The technology uses a surface mediated site-selective CVD for the growth of MWCNTs in via structures. Developments are demonstrated with the fabrication of via test vehicles and the site-selective growth of MWCNTs in vias on 4 inch wafers. Furthermore, the known resistance problem of CNT vias, caused by too low CNT density, is addressed by a new approach. A CNT/metal heterostructure is considered, where the metal is implemented through atomic layer deposition (ALD). The first results of the coating of CNTs with readily reducible copper oxide nanoparticles are presented and discussed. / Aufgrund der kontinuierlichen Verkleinerung von Strukturen in extrem hoch integrierten (engl. Ultra-Large Scale Integration − ULSI) Schaltkreisen werden die Anforderungen an die Materialien und die Technologie in naher Zukunft dramatisch ansteigen. Besonders im Leitbahnsystem sind neue Materialien und Konzepte gefragt. Kohlenstoffnanoröhren (engl. Carbon Nanotubes − CNT) stellen hierbei ein vielversprechendes Material dar, um teilweise oder sogar vollständig metallische Leitbahnen zu ersetzen. Die vorliegende Arbeit liefert einen Beitrag zur CNT-Wachstumskontrolle mit der thermischen Gasphasenabscheidung (engl. Chemical Vapor Deposition − CVD) sowie der Integration von CNTs als vertikale Leitungsverbindungen (Via) in ULSI-Schaltkreisen. Verschiedene Untergrund/Katalysator-Systeme werden in Prozessen zur Katalysatorvorbehandlung sowie zum CNT-Wachstum betrachtet. Die Untersuchungen richten sich insbesondere auf die Katalysatorformierung und die Wechselwirkungen an den Grenzflächen. Diese werden mit dem CNT-Wachstum in Verbindung gebracht. Für Untersuchungen von Grenzflächeninteraktionen, Schichtstruktur, Zusammensetzung sowie CNT-Wachstumscharakteristik werden Analysen mit AFM, REM, TEM, XRD, XPS und Raman-Spektroskopie genutzt. Zunächst werden Voruntersuchungen an dem gut bekannten System SiO2/Ni zur Nanopartikelformierung und CNTWachstum vorgestellt. Dieses System ist gekennzeichnet durch eine schwache Wechselwirkung zwischen Untergrund und Katalysator sowie ungerichtetem Wachstum von mehrwandigen CNTs (MWCNTs). Im Gegensatz dazu hat bei dem System Ta/Ni eine starke Interaktion an der Grenzfläche eine Katalysatornanopartikelbenetzung und vertikales MWCNT-Wachstum zur Folge. Für das W/Ni-System gelten ebenfalls starke Interaktionen an der Grenzfläche. Bei diesem System wird allerdings eine Stranski-Krastanov-Schichtformierung des Katalysators und eine vollständige Unterbindung von CNT-Wachstum erreicht. Bei dem System SiO2/Cr/Ni agieren Cr und Ni als Bi- Katalysatorsystem. Dies führt zu einer neuartigen Nanostruktur, die als Zwischenschicht-CNT (engl. Interlayer Carbon Nanotubes − ICNTs) Struktur definiert wird. Die Schichten sind durch eine gute Qualität von gerichteten MWCNTs charakterisiert, die aus einer geschlossenen, sehr glatten und von den CNTs getragenen Cr/Ni-Schicht herauswachsen. Darüber hinaus bietet die Struktur neue Möglichkeiten für die Integration von CNTs in verschiedene elektronische Anwendungen. Auf der Grundlage der vorgestellten Manipulationsmöglichkeiten von CNT-Wachstum wurde eine Integrationstechnologie für CNTs in Vias abgeleitet. Der Ansatz ist eine oberflächeninduzierte selektive CVD von vertikal gerichteten MWCNTs in Via-Strukturen. Diese Technologie wird mit der Herstellung von einem Via-Testvehikel und dem selektiven CNT-Wachstum in Vias auf 4 Zoll Wafern demonstriert. Um das Widerstandsproblem von CNT-Vias, verursacht durch eine zu niedrige CNT-Dichte, zu reduzieren, wird eine Technologieerweiterung vorgeschlagen. Der Ansatz geht von einer CNT/Metall-Heterostruktur aus, bei der das Metall mit Hilfe der Atomlagenabscheidung (engl. Atomic Layer Deposition − ALD) implementiert wird. Es werden erste Ergebnisse zur CNT-Beschichtung mit reduzierbaren Kupferoxidnanopartikeln vorgestellt und diskutiert.
115

Finanční analýza společnosti T-Mobile Czech Republic a.s. / Financial analysis of T-Mobile Czech Republic a.s.

Čižmáriková, Jitka January 2008 (has links)
The purpose of this diploma theses is to demonstrate the comprehensive view on the "financial health" of T-Mobile Czech Republic a.s. through the financial analysis process between year 2003 and 2007 from the position of the external user. The theoretic part of this theses is focused on the brief history, definition and principle of the financial analysis, then on users of the financial analysis and information sources for its realization including the pointing out the limitation of predicative abilities of the accounting data. Understanding of the traditional but also new methods, which are applied within the financial analysis (including the methods of intercompany comparison), is another part of the theoretic definition of the financial analysis. The practical part of the theses deals with the characteristics of T-Mobile company and with processing of the strategic analysis, which put us closer to the outside and inside surroundings of the analysed firm. It is followed by processing of the financial analysis of T-Mobile company (including comparison with its competitors), comments and evaluation of findings and results (including their comparison, where it is possible, with standard (recommended) values or with the "branch average values") and by pointing out strenghts and weaknesses of operations of the analysed company.
116

Sverige 2112 : Ett narrativ om hur arkitekturen kan utvecklas om världen går igenom stora förändringar på grund av klimatförändringarna. En linjär och vertikal stad. / Sweden 2112 : A narrative of how architecture could be developed if the world is going through major changes due to the climate changes. The wall city.

Eliasson, David January 2012 (has links)
Om världen till följd av klimatförändringarna blir mycket varmare kommer förutsättningarna för hur vi planerar städer, infrastruktur och jordbruk helt att vändas upp och ner. De delar av världen som idag står för världens livsmedelsproduktion kommer vid bara några graders förändring bli obrukbara som betes och odlingsmark. Dessa förändringar kan komma att starta konflikter, och stora flyktingströmmar som tillsammans med förändrade klimatzoner helt kommer att rita om världskartan. i Skandinavien är det då troligt att vi behöver bygga samhällen och städer för miljontals nya immigranter, och detta samtidigt som vi befinner oss mitt i den mest fruktbara jordbruksmarken i världen. Om hundra år måste vi dessutom, oavsett detta, dubbla livsmedelsproduktionen globalt sett. Vårt samhälle blir allt mer rörligt och infrastrukturen utvecklas i allt snabbare takt. Tåget, bilen och flyget har alla förändrat världen och staden, och i framtiden kommer vi kanske förflytta oss med nya typer av till exempel supersnabbtåg. De kommer ge avstånd en allt mindre betydelse. Om vi använder oss av de förutsättningar en sådan ny infrastruktur ger, och bygger både horisontellt och vertikalt uppstår en ny typologi för staden. Stannar man vid detta inser man snart att det är en hissnande tanke, och det är just det som detta examensarbete  undersöker. Ett narrativt projekt som spekulerar i frågan om det här händer, kan då också det här hända? / If the world as a result of the climate changes will be much warmer, the conditions for how we plan cities, infrastructure and agriculture will be completely turned upside down. Parts of the world which today account for the world's food production will at just a few degrees of temperature change become unusable for cultivation. These changes may result in conflicts, and massive refugee flows. Changes of the climate zones will completely redraw the map of the world. In Scandinavia, is it likely that we will need to build societies and cities for millions of new immigrants. At the same moment Scandinavian countries are in the midst of the most fertile farmland in the world. And also, in one hundred years we must, notwithstanding this, double our food production globally. Our society gets more and more mobile and the infrastructure is developing more and more. The train, the car and the airplane as concepts have all changed the world and the cities when they where introduced. The future, might move us towards new types of super-fast speed trains that will give an even smaller importance to distances. And if we use the textures of these new infrastructures, it might lead us to build both horizontally and vertically. Then it appears a new type of typology of cities. If you stay at this thought, you realize that it is completely staggering, and that is exactly what the thesis project investigates. It is a narrative project that speculates on the question; "If this happens, might then also this happen?"
117

Byggvaruhuskedjors kravställningar på sina leverantörer En studie av bygghandeln i Sverige / DIY and building material retailers demands on their suppliers A study of the DIY and building material market in Sweden

Fransson, Daniel January 2004 (has links)
<p>Denna studie utreder vilka funktioner och roller som byggvaruhuskedjor efterfrågar att deras leverantörer från träindustrin bör ha i marknadskanalen. Vidare förklaras hur dessa leverantörer bör agera för att möta dessa krav och förväntningar. Sålunda skapas gynnsamma utvecklingsmöjligheter av nya produktlösningar för att svara upp till nya krav på teknik och produktutveckling för att öka försäljningen av trävaror till de viktiga GDS (Gör-Det-Själv)- och byggmaterialmarknaderna i både Sverige och Europa. Byggvaruhuskedjorna anser att träindustrin har ett alldeles för stort produktions- och volymfokus och inriktar sig för mycket på export av trävaror. Byggvaruhuskedjor efterfrågar alltmer en leverantör från träindustrin med en hög anpassningsförmåga som kan medverka i kedjans utvecklingsarbete och som samtidigt har stor lyhördhet gentemot marknadens behov och har möjlighet att göra anpassningar till lokala GDS- och byggmaterialmarknader. Leverantörer från träindustrin måste sålunda gå ifrån produktions- och volymfokusering till kundutveckling och kundfokus. Deras produktivitetsutveckling och samarbetsvillighet har en stor betydelse för att generera en välfungerande interaktion med sina kunder. Sålunda kan en koppling mellan deras egen produktion och deras kunders behov utvecklas. Det kommer sannolikt att bli mycket kostsamt och svårt för träindustrin att försöka bearbeta den svenska och europeiska marknaderna utan att använda byggvaruhuskedjorna som marknadskanal. Byggvaruhuskedjornas ökade konsumentfokus och riktade marknadsföring medför enligt dem själva en expansion av marknaden samtidigt som prismedvetenheten och kraven från GDS- och byggmaterialmarknaderna ökar. Byggvaruhuskedjorna verkar alltmer fungera som systemintegratör och anser själva att de känner av en större makt gentemot sina leverantörer. Byggvaruhuskedjorna förefaller dock svårare att definiera som antigen mega-retailers eller category-killers. Branschgränserna blir alltmer oklara och det blir sålunda svårare att avgöra vilka företag som specifikt kan klassificeras att tillhöra bygghandeln Den nationella bygghandeln blir samtidigt alltmer internationell och sammanfattningsvis verkar en marknadskanal med nya funktioner och strukturer att utvecklas.</p>
118

Byggvaruhuskedjors kravställningar på sina leverantörer En studie av bygghandeln i Sverige / DIY and building material retailers demands on their suppliers A study of the DIY and building material market in Sweden

Fransson, Daniel January 2004 (has links)
Denna studie utreder vilka funktioner och roller som byggvaruhuskedjor efterfrågar att deras leverantörer från träindustrin bör ha i marknadskanalen. Vidare förklaras hur dessa leverantörer bör agera för att möta dessa krav och förväntningar. Sålunda skapas gynnsamma utvecklingsmöjligheter av nya produktlösningar för att svara upp till nya krav på teknik och produktutveckling för att öka försäljningen av trävaror till de viktiga GDS (Gör-Det-Själv)- och byggmaterialmarknaderna i både Sverige och Europa. Byggvaruhuskedjorna anser att träindustrin har ett alldeles för stort produktions- och volymfokus och inriktar sig för mycket på export av trävaror. Byggvaruhuskedjor efterfrågar alltmer en leverantör från träindustrin med en hög anpassningsförmåga som kan medverka i kedjans utvecklingsarbete och som samtidigt har stor lyhördhet gentemot marknadens behov och har möjlighet att göra anpassningar till lokala GDS- och byggmaterialmarknader. Leverantörer från träindustrin måste sålunda gå ifrån produktions- och volymfokusering till kundutveckling och kundfokus. Deras produktivitetsutveckling och samarbetsvillighet har en stor betydelse för att generera en välfungerande interaktion med sina kunder. Sålunda kan en koppling mellan deras egen produktion och deras kunders behov utvecklas. Det kommer sannolikt att bli mycket kostsamt och svårt för träindustrin att försöka bearbeta den svenska och europeiska marknaderna utan att använda byggvaruhuskedjorna som marknadskanal. Byggvaruhuskedjornas ökade konsumentfokus och riktade marknadsföring medför enligt dem själva en expansion av marknaden samtidigt som prismedvetenheten och kraven från GDS- och byggmaterialmarknaderna ökar. Byggvaruhuskedjorna verkar alltmer fungera som systemintegratör och anser själva att de känner av en större makt gentemot sina leverantörer. Byggvaruhuskedjorna förefaller dock svårare att definiera som antigen mega-retailers eller category-killers. Branschgränserna blir alltmer oklara och det blir sålunda svårare att avgöra vilka företag som specifikt kan klassificeras att tillhöra bygghandeln Den nationella bygghandeln blir samtidigt alltmer internationell och sammanfattningsvis verkar en marknadskanal med nya funktioner och strukturer att utvecklas.
119

Growth of carbon nanotubes on different support/catalyst systems for advanced interconnects in integrated circuits: Growth of carbon nanotubes on different support/catalystsystems for advanced interconnects in integrated circuits

Hermann, Sascha 19 September 2011 (has links)
Since there is a continuous shrinking of feature sizes in ultra-large scale integrated (ULSI) circuits, requirements on materials and technology are going to rise dramatically in the near future. In particular, at the interconnect system this calls for new concepts and materials. Therefore, carbon nanotubes (CNTs) are considered as a promising material to replace partly or entirely metal interconnects in such devices. The present thesis aims to make a contribution to the CNT growth control with the thermal chemical vapor deposition (CVD) method and the integration of CNTs as vertical interconnects (vias) in ULSI circuits. Different support/catalyst systems are examined in processes for catalyst pretreatment and CNT growth. The investigations focus on the catalyst formation and the interactions at the interfaces. Those effects are related to the CNT growth. To get an insight into interactions at interfaces, film structure, composition, and CNT growth characteristics, samples are extensively characterized by techniques like AFM, SEM, TEM, XRD, XPS, and Raman spectroscopy. Screening studies on nanoparticle formation and CNT growth with the well known system SiO2/Ni are presented. This system is characterized by a weak support/catalyst interaction, which leads to undirected growth of multi-walled CNTs (MWCNTs). By contrast, at the Ta/Ni system a strong interaction causes a wetting of catalyst nanoparticles and vertically aligned MWCNT growth. At the system W/Ni a strong interaction at the interface is found as well, but there it induces Stranski-Krastanov catalyst film reformation upon pretreatment and complete CNT growth inhibition. Studies on the SiO2/Cr/Ni system reveal that Cr and Ni act as a bi-catalyst system, which leads to a novel nanostructure defined as interlayer CNT (ICNT) structure. The ICNT films are characterized by well crystallized vertically aligned MWCNTs, which grow out a Cr/Ni layer lifted off as a continuous and very smooth layer from the substrate with the growth. Besides, this nanostructure offers new possibilities for the integration of CNTs in different electronic applications. Based on the presented possibilities of manipulating CNT growth, an integration technology was derived to fabricate CNT vias. The technology uses a surface mediated site-selective CVD for the growth of MWCNTs in via structures. Developments are demonstrated with the fabrication of via test vehicles and the site-selective growth of MWCNTs in vias on 4 inch wafers. Furthermore, the known resistance problem of CNT vias, caused by too low CNT density, is addressed by a new approach. A CNT/metal heterostructure is considered, where the metal is implemented through atomic layer deposition (ALD). The first results of the coating of CNTs with readily reducible copper oxide nanoparticles are presented and discussed. / Aufgrund der kontinuierlichen Verkleinerung von Strukturen in extrem hoch integrierten (engl. Ultra-Large Scale Integration − ULSI) Schaltkreisen werden die Anforderungen an die Materialien und die Technologie in naher Zukunft dramatisch ansteigen. Besonders im Leitbahnsystem sind neue Materialien und Konzepte gefragt. Kohlenstoffnanoröhren (engl. Carbon Nanotubes − CNT) stellen hierbei ein vielversprechendes Material dar, um teilweise oder sogar vollständig metallische Leitbahnen zu ersetzen. Die vorliegende Arbeit liefert einen Beitrag zur CNT-Wachstumskontrolle mit der thermischen Gasphasenabscheidung (engl. Chemical Vapor Deposition − CVD) sowie der Integration von CNTs als vertikale Leitungsverbindungen (Via) in ULSI-Schaltkreisen. Verschiedene Untergrund/Katalysator-Systeme werden in Prozessen zur Katalysatorvorbehandlung sowie zum CNT-Wachstum betrachtet. Die Untersuchungen richten sich insbesondere auf die Katalysatorformierung und die Wechselwirkungen an den Grenzflächen. Diese werden mit dem CNT-Wachstum in Verbindung gebracht. Für Untersuchungen von Grenzflächeninteraktionen, Schichtstruktur, Zusammensetzung sowie CNT-Wachstumscharakteristik werden Analysen mit AFM, REM, TEM, XRD, XPS und Raman-Spektroskopie genutzt. Zunächst werden Voruntersuchungen an dem gut bekannten System SiO2/Ni zur Nanopartikelformierung und CNTWachstum vorgestellt. Dieses System ist gekennzeichnet durch eine schwache Wechselwirkung zwischen Untergrund und Katalysator sowie ungerichtetem Wachstum von mehrwandigen CNTs (MWCNTs). Im Gegensatz dazu hat bei dem System Ta/Ni eine starke Interaktion an der Grenzfläche eine Katalysatornanopartikelbenetzung und vertikales MWCNT-Wachstum zur Folge. Für das W/Ni-System gelten ebenfalls starke Interaktionen an der Grenzfläche. Bei diesem System wird allerdings eine Stranski-Krastanov-Schichtformierung des Katalysators und eine vollständige Unterbindung von CNT-Wachstum erreicht. Bei dem System SiO2/Cr/Ni agieren Cr und Ni als Bi- Katalysatorsystem. Dies führt zu einer neuartigen Nanostruktur, die als Zwischenschicht-CNT (engl. Interlayer Carbon Nanotubes − ICNTs) Struktur definiert wird. Die Schichten sind durch eine gute Qualität von gerichteten MWCNTs charakterisiert, die aus einer geschlossenen, sehr glatten und von den CNTs getragenen Cr/Ni-Schicht herauswachsen. Darüber hinaus bietet die Struktur neue Möglichkeiten für die Integration von CNTs in verschiedene elektronische Anwendungen. Auf der Grundlage der vorgestellten Manipulationsmöglichkeiten von CNT-Wachstum wurde eine Integrationstechnologie für CNTs in Vias abgeleitet. Der Ansatz ist eine oberflächeninduzierte selektive CVD von vertikal gerichteten MWCNTs in Via-Strukturen. Diese Technologie wird mit der Herstellung von einem Via-Testvehikel und dem selektiven CNT-Wachstum in Vias auf 4 Zoll Wafern demonstriert. Um das Widerstandsproblem von CNT-Vias, verursacht durch eine zu niedrige CNT-Dichte, zu reduzieren, wird eine Technologieerweiterung vorgeschlagen. Der Ansatz geht von einer CNT/Metall-Heterostruktur aus, bei der das Metall mit Hilfe der Atomlagenabscheidung (engl. Atomic Layer Deposition − ALD) implementiert wird. Es werden erste Ergebnisse zur CNT-Beschichtung mit reduzierbaren Kupferoxidnanopartikeln vorgestellt und diskutiert.

Page generated in 0.0647 seconds