De nombreuses applications industrielles spécifiques dans les secteurs tels que l’automobile, le médical et le spatial, requièrent un très haut niveau de fiabilité. Dans ce contexte, cette thèse traite de l’étude de la fiabilité des mémoires non-volatiles à grille flottante de type NOR Flash. Après une introduction mêlant l’état de l’art des mémoires non volatiles et la caractérisation électrique des mémoires Flash, une étude sur l’effet des signaux de polarisation a été menée. Un modèle a été développé afin de modéliser la cinétique de la tension de seuil durant un effacement. L’effet de la rampe d’effacement a été montré sur les cinétiques mais aussi sur l’endurance. Une étude sur la durée de vie de l’oxyde tunnel a ensuite montré l’importance de l’utilisation d’un stress dynamique. Nous avons caractérisé cette dépendance en fonction du rapport cyclique et du champ électrique appliqué. Enfin l’endurance de la cellule mémoire Flash a été étudiée et les effets de la relaxation durant le cyclage ont été analysés. / Many specific applications used in automotive, medical and spatial activity domains, require a high reliability level. In this context, this thesis focuses on the study of floating gate non-volatiles memories reliability more precisely in NOR Flash architecture. After an introduction mixing the state of art of non-volatiles memories and the electrical characterization of Flash memories, a study on the polarization signals effect has been led. A model has been developed in order to model the threshold voltage kinetic during an erase operation. The erasing ramp effect has been shown on kinetics and also on cycling. Then, a study on the tunnel oxide lifetime has shown the importance of relaxation during stress. This dependence has been characterized as a function of duty cycle and the electric field applied. Finally, Flash memory cell endurance has been explored and the relaxation effects during the cycling has been analyzed.

Alors que les mémoires non-volatiles conventionnelles, telles que les mémoires flash à grille flottante, deviennent de plus en plus complexes à intégrer et souffrent de performances et d’une fiabilité de plus en plus réduite, les mémoires à variation de résistance (RRAM) telles que les OxRAM, CBRAM, MRAM ou PCM sont vues dans la communauté scientifique comme une alternative crédible. Cependant, les architectures de RRAM standard (telles que la 1Transistor-1RRAM) ne sont pas compétitives avec les mémoires flash sur le terrain de la densité. Ainsi, cette thèse se propose d’explorer le potentiel des architectures RRAM sans transistor que sont l’architecture Crosspoint et l’architecture VRRAM.Dans un premier temps, le positionnement des architectures Crosspoint et VRRAM dans la hiérarchie mémoire est étudié. De nouvelles problématiques, telles que les courant de sneakpath, la chute de tension dans les métaux ou la surface des circuits périphériques sont identifiées et modélisées. Dans un second temps, des solutions circuit répondant aux problématiques évoquées précédemment sont proposées. Finalement, cette thèse se propose d’explorer les opportunités ouvertes par l’utilisation de transistors innovants pour améliorer la densité ou les performances des architectures mémoires utilisant des RRAM. / While conventional non-volatiles memories, such as floating gate Flash memories, are becoming more and more difficult and costly to integrate and suffer of reduced performances and reliability, emerging resistive switching memories (RRAM), such as OxRAM, CBRAM, MRAM or PCM, are seen in the scientific community as a good way for tomorrow’s high-density memories. However, standard RRAM architectures (such as 1 Transistor-1 RRAM) are not competitive with flash technology in terms of density. Thereby, this thesis proposes to explore the opportunities opened by transistor-less RRAM architectures: Crosspoint and Vertical RRAM (VRRAM) architectures.First, the positioning of Crosspoint and VRRAM architectures in the memory hierarchy is studied. New constraints such as the sneakpath currents, the voltage drop through the metal lines or the periphery area overhead are identified and modeled. In a second time, circuit solutions answering to previously mentioned effects are proposed. Finally, this thesis proposes to explore new opportunities opened by the use of innovative transistors to improve the density or the performances of RRAM-based memory architectures.

Notre réflexion consiste à analyser, sur le plan narratologique et énonciatif, la fiction et l'autofiction de Patrick Chamoiseau. Le rôle de l'écrivain y est démultiplié. Il instaure le doute dans la caractérisation générique de son œuvre, résolument digressive et paratextuelle. Il s'efforce de donner à lire un dire narratif créole dans une poétique du compromis- l'oraliture – où l'écrit et l'oral se télescopent, où une esthétique plus personnelle se débat dans une esthétique plus dominante. La mise en scène de la parole des personnages est le lieu d'une négociation scripturaire, littéraire : les énoncés mettent en relief le mariage heuristique de la fiction et de la diction, mais aussi de leur interaction intime avec des implicites énonciatifs – au sens bakhtinien de la théorie énonciative – qui traduisent le propre engagement idéologique de l'auteur. Chamoiseau tente d'extraire de sa narration polyphonique un sujet indemne des affres du présent et de l'Histoire. Il le construit par une parole, anodine et sérieuse, qui use de tout un spectre identitaire, pour se dire et dire la communauté. Les échanges prolifèrent ainsi à l'intérieur du rêve, de l'imaginaire, des histoires ou des mémoires que ses textes engendrent. / Our thinking is to analyze, through narratology utterance, fiction and fictionalized autobiography of the writer Patrick Chamoiseau. Its role is multiplied. He creates doubt in characterization of generic text, a strongly digressive and paratextual text. He tries to give a reading to a narrative creole telling in a poetic compromise – the oralture – where written and oral collide, where a more personal aesthetic struggles in a more dominant one. The staging of the characters ‘speech is the place of a scriptural and literary negotiation: the statements highlight the marriage of heuristic fiction and diction, but also their intimate interaction which implicit enunciation – in a Bakhtinian sense of the theory of enunciation – that reflect the author's specific ideological commitment. In his polyphonic narration, Chamoiseau attempts to retrieve a subject free from horrors of the present and History. He built this subject with a trivial and serious word which uses a spectrum of identity, to say and tell the community. Exchanges proliferate inside the dreams, imagination, stories or memories that his lyrics create.

De 1991 à 2014, le Service d’Histoire de l’Éducation a mené une enquête orale sur le ministère de l’Éducation nationale depuis la Libération. La perspective était double : cerner le processus de décision du ministère et patrimonialiser la mémoire des cadres de l’institution. De cette entreprise résultent 283 entretiens qui représentent plus de 1100 heures d’enregistrement. À partir de ce corpus, cette thèse explore l’hypothèse que les biais régulièrement décriés des archives orales peuvent devenir une féconde ressource pour les historiens. L’objet central de ce travail est donc la source elle-même, dont la déconstruction doit permettre de comprendre une forme de production mémorielle qui se présente comme au service de l’histoire et des historiens. Faire l’histoire de cette enquête revient d’abord à retracer celle d’un moment historiographique dans les années 1990, à partir de l’analyse critique du projet et des pratiques des enquêteurs. Le dispositif de l’enquête assigne les acteurs à une certaine fonction au sein de l’institution, à partir de laquelle est co-construite une histoire de l’Éducation nationale « d’en haut ». La question est alors de saisir comment, ministère après ministère, s’articulent expériences subjectives et histoire(s) collective(s), entre le temps de l'événement et le moment du témoignage, dans une dialectique continue avec l'histoire de l'éducation en train de s'écrire. Enfin, à l’instar des autres ministères, la période couverte par l’enquête est celle de la conquête de l’État par les administrateurs de profession issus de l’ENA. À l’Éducation nationale, les universitaires et les acteurs venus du terrain sont contraints de céder le pas. En identifiant ces mémoires concurrentielles et leurs dynamiques à partir des discours, des régimes de justification et des ordres de grandeur qui les singularisent, cette thèse entend finalement participer à l’analyse des écologies des professions dans le cadre d’un ministère. / From 1991 to 2014, the French Service d’Histoire de l’Education conducted a large oral investigation into the activities of the Ministère de l’Education Nationale since the end of WWII. Its purpose was twofold: identifying the decision-making processes of the ministry’s officials, and creating an archive from the testimonies of the institution’s executives. From this endeavour came 283 interviews that make up more than 1100 hours of recordings. This doctoral thesis draws on this corpus to explore the hypothesis that the biases commonly attributed to oral archives can turn out to be fertile ground for historians. The recordings themselves therefore form the main object of this work: by deconstructing them, it should be possible to understand how this type of memory-based production may contribute to the writing of history, and be of use to historians. Tracing back the history of this survey first involves delving into the historiographical agenda of the 1990s through the critical analysis of the project and of the interviewers’ practices. The survey was thought out in such a way that its participants were assigned to a specific function in the institution, forming the basis for a top-down, yet collective writing of the Education Nationale’s history. The question is then to grasp how, one ministry after another, personal experiences and shared memory/ies come together between the time of the events and the time when people testified, contributing to a wider dialectic of the history of education as it was being written. Finally, like in the other ministries, the period the survey spans coincides with the domination of the State by professional administrators out of the National School of Administration (ENA), forcing the academics and the professionals within the Education Nationale to step down. By pinpointing these competing recollections and their dynamics through the study of the discourse, the means of justification, and the orders of worth that set them apart, this thesis aims to contribute to the analysis of the ecology of the professions within a ministry.

C’est une « certaine idée de la France » que cette thèse se propose de dépeindre à travers l’histoire de l’Académie des Sciences coloniales (ASC), aujourd’hui Académie des Sciences d’Outre-mer, de sa création en 1922 aux années 1970. Contribuant à l’étude des « sciences coloniales » et de leur rapport au pouvoir, l’examen de cette société savante est une porte d’entrée vers plusieurs champs relatifs à la pensée coloniale et ses prolongements. Généraliste, pluridisciplinaire et modelée par des personnalités parmi les plus influentes de l’ancien « parti colonial », l’ASC est représentative des milieux coloniaux de l’entre-deux-guerres. L’étude de sa composition permet de cerner les contours d’une véritable « classe coloniale », intégrée à la classe dirigeante française, farouchement souverainiste et chantre de la « notion d’empire ». La pensée qu’incarnent ces coloniaux associe intimement l’universalisme du messianisme républicain français, et le relativisme particulariste propre à la domination de l’Autre. Ces deux postulats théoriquement opposés ont longtemps été traduits par la formulation d’une contradiction dans l’idée d’une République colonisatrice. L’expression « République lointaine », qui décrit à la fois une réalité géographique et une approche conceptuelle, est forgée à l’occasion de ce travail pour récuser ce faux paradoxe. Il s’agit ainsi d’analyser les évolutions de cette pensée, dont les deux composantes caractérisent l’ensemble de la période étudiée.La résilience et les adaptations de cette Académie, qui survit à sa raison d’être et en devient le conservatoire mémoriel, méritent enfin une attention toute particulière. Par ce prisme, on parcourt les conversions terminologique, thématique et réticulaire de la classe coloniale dans son ensemble. Décolonisation des mots, introduction des thèmes fédérateurs que sont la coopération et la francophonie, dilution et ouverture internationale de l’ancienne classe coloniale sont au cœur de cette transition. / This thesis proposes to study a “ certain vision“ of France through the History of the Académie des Sciences coloniales (ASC) now called the Académie des Sciences d’Outre-mer, since its formation in 1922 until the 1970’s. Contributing to the analysis of the “colonial sciences” and its connections with the centre of power, the research about this society of experts is a gateway towards several fields regarding the colonial thought and its developments.Generalist, multidisciplinary and created by some of very important personalities from the ancient “parti colonial”, the ASC is representative of the French colonial circles of the interwar period. The study of its composition allows us to outline a real “colonial class”, part of the French ruling class, fiercely sovereignist and promoting the “empire notion”. The thought which embodies these “coloniaux” combines closely the universalism of the French Republic messianism and the particularist relativism proper to the domination of “the Other”. Those two postulates are theoretically opposite. For a long time, the historiography has presented the fact that the colonisation by the French republic is contradictory to its original premise. The expression “République lointaine” (“Distant Republic”) which is both a geographic reality and a conceptual approach is forged to refute this false paradox. This work leads to an analysis of this thought evolution.The resilience and the adaptation of this Academy, which outlasts its fundamental purpose, becoming its “memorial repository”, deserve at least a specific attention. Through this research subject, we observe terminological, thematic and reticular conversions of the entire “colonial class”. Decolonization of words, introduction of the integrating themes of cooperation and francophonie, dilution of the former “colonial class” and its opening to the international networks, are indeed crucial to understand this transition.

La 1re Armée française commandée par le général de Lattre de Tassigny souffre d'un déficit mémoriel auprès de la société française alors qu'elle a libéré une grande partie du territoire national. L'association Rhin et Danube porteur naturel de la mémoire de la 1re Armée française a échoué dans la diffusion de celle-ci. La concurrence d'autres mémoires de la Seconde Guerre mondiale, le rôle de l'Etat, de l'Education nationale... ont progressivement fait oublier l'action de l'Armée de Lattre dans la Libération depuis le débarquement de Provence. / The 1st French Army under General de Lattre de Tassigny's command is fading from the collective memory of French society, despite having freed a large portion of France. The “Rhine and Danube” association, the natural guardian of the 1st French Army's legacy, failed to disseminate its story. Competition with other memorable events of the Second World War, the role of the State, the Ministry of Education ... overshadowed the significant contribution of the de Lattre Army to the Liberation of France, from the landing in Provence and onward.

Loin de la scène politique, Abbas II en exil, Nubar en retraite, chacun enregistre ses Mémoires pour offrir à la postérité leur précieux témoignage, en français non seulement sur leur vie publique mais aussi sur l’Égypte des vice-rois et sur les faits de leurs temps. Nubar, ce pacha d’origine arménienne qui a servi tous les vice-rois de l’Égypte depuis Mohamed Ali jusqu’à Abbas II, insiste dans ses Mémoires sur les projets qu’il a le plus défendus et les défis qu’il a relevés au fil des années : la réforme de la justice, la défense des droits du fellah, son refus du projet du canal de Suez, ainsi que son opposition aux caprices de Saïd et surtout à ceux d’Ismaïl qui ont conduit progressivement l’Égypte à la faillite.Abbas II se défend dans ses Mémoires devant l’Histoire et surtout contre les accusations de son rival Cromer, le consul général britannique, publiées dans Modern Egypt et dans Abbas II. Le Khédive met en avant la lutte nationaliste qu’il a menée aux niveaux politique, éducatif, culturel, entre autres, afin de faire face à l’occupation anglaise. Il explique l’évolution de sa relation avec les généraux britanniques de la politique de rupture sous Cromer à celle de l’entente qui a commencé en 1907 après l’incident de Denchaway (1906).Cette forme d’écriture de soi se distingue de ses formes voisines (le journal, l’autobiographie, le récit de voyage) par son identité mixte (historique, juridique, politique et esthétique). Cela explique la variété des stratégies suivies par le pacha et le Khédive dans leurs Mémoires : stratégie de dénégation, de disqualification de l’adversaire, de l’interprétation, de prudence, etc. Nous étudions ces deux textes en insistant sur le côté littéraire des Mémoires, qui est d’habitude marginalisé au profit de leur dimension historique.Les Mémoires constituent une arme de l’homme politique qui lui permettent de bénéficier d’une grande liberté grâce à leur identité mixte. Le mémorialiste homme de pouvoir multiplie les stratégies d’écriture pour prouver sa crédibilité. Il se défend et fait de son ouvrage un monument capable de traverser les siècles aussi bien par sa valeur historique qu’esthétique. Malgré le débat sur la subjectivité du mémorialiste et sa relation avec l’écriture de l’Histoire, la valeur historique des Mémoires est indéniable. Au terme de notre travail, nous revendiquons l’insertion des Mémoires dans l’enseignement : un moyen parmi d’autres pour tirer ce patrimoine précieux de l’oubli et lui octroyer la place qu’il mérite dans la mémoire collective. / Away from the political scene, Abbas II in exile, Nubar retired, each one has written his Memoirs to offer to the posterity their precious testimony in french, not only about their public life but also about Egypt’s vice-kings and about their time.Nubar, this pacha of armenian origin, and who served all the vice-kings of Egypt since Mohamed Ali to Abbas II, insists in his Memoirs on the projects which he defended the most and his won challenges over the years: the justice reform, the defense of the fellah’s rights, the rejection of the canal of Suez project, his opposition to the whims of Saïd and especially those of Ismaïl which have led Egypt to the bankruptcy.Abbas II defends himself in front of the history, especially against his rival’s charges: Cromer, the general British consul published in Modern Egypt and in Abbas II. The Khedive highlighted his nationalist struggle that he led in several fields: political, educational, cultural fields in order to face the British occupation. He explains the evolution of his relation with the British generals from the discord policy under Cromer leadership to the agreement that began in 1907 after the Denchaway incident (1906).This form of personnal writing differs from its related forms (the diaries, the autobiography, the travel novels) by its mixed identity (historical, legal, political and aesthetic). This explains the variety of the strategies followed by the pacha and the Khedive in their memoirs: strategie of denial, of disqualification of the opponent, of the interpretation, of the caution, etc. We study these texts focussing on the lirerary side which is usually marginalized in the benefit of their historical side.The Memoirs are weapons of the politician which give him free style due to their hybrid identity. The political memoirist multiplies his writing strategies to prove his credibility. He defends himself and makes his book a monument able to cross the centuries by both historical and aesthetic value. Despite the debate about the subjectivity of the memoirist and its relationship with writing the history, the historical value of Memoirs is undeniable. At the end of our study, we reclam to insert the Memoirs in the education programs: a way among others to save this precious heritage from oblivion and give it its rightful place in the collective memory.

Cette thèse porte sur les mémoires de dirigeants du Comité Union et Progrès, une société secrète formée d’officiers, de bureaucrates et d’intellectuels qui ont tenu les rênes de l’Empire Ottoman de 1913 à 1918. Au-delà des évènements relatés dans ces documents, cette étude explore la construction d’un discours public sur la période du « Deuxième Régime Constitutionnel » (1908-1918) par la publication de ces mémoires en Turquie. L’analyse associe deux dimensions, synchronique et diachronique. D’une part, l’analyse du discours met en lumière trois grands thèmes sur lesquels s’expriment et se reflètent les subjectivités des auteurs – eux-mêmes (le Comité), la révolution et la guerre. D’autre part, des variations sont repérées au sein de ces trois thèmes, et interprétées au moyen d’une contextualisation de l’écriture et de la publication des mémoires. Les ruptures majeures dans les écrits des Unionistes permettent ainsi de considérer l’existence de trois « régimes mémoriels » (Johann Michel) – kémaliste, unioniste, islamiste – apparus successivement en Turquie au cours du vingtième siècle. La thèse met ainsi en évidence la convergence de ces régimes mémoriels sur la négation du génocide arménien de 1915-1916. Au-delà du cas d’étude, elle interroge l’immuabilité et la permanence d’un discours négationniste sur une violence exterminatrice, lorsqu’il est élaboré par les auteurs de cette violence, et le phénomène de pétrification discursive qu’il provoque dans la société qui en est réceptrice. / This dissertation deals with the memoirs of the Union and Progress Committee leaders, a secret society of officers, bureaucrats and intellectuals who ruled over the Ottoman Empire from 1913 to 1918. Going beyond an analysis of the events reported in these documents, this study explores the construction of a public narrative on the “Second Constitutional Era” (1908-1918) by the publication of these memoirs in Turkey. The analysis combines two dimensions, a synchronic one and a diachronic one. On the one hand, the discourse analysis highlights three major themes expressing and reflecting the subjectivities of the authors: themselves (the Committee), the revolution and the war. On the other hand, this analysis identifies variations within these three themes, and interprets them through a contextualization of the writing and publication of the memoirs. The major discontinuities in the Unionists’ writings thus make it possible to consider the existence of three “memorial regimes” (Johann Michel) – Kemalist, Unionist, Islamist – that appeared successively in Turkey during the twentieth century. The thesis highlights the convergence of these memorial regimes on the denial of the 1915-1916 Armenian genocide. Beyond this case study, it questions the immutability and the permanence of a negationist discourse on exterminatory violence, when developed by the perpetrators of this violence, and the phenomenon of paralysis that it provokes at the discursive level in the receiving society.

Les composants électroniques embarqués dans des applications spatiales sont exposés à différents types de particules qui composent l’environnement radiatif spatial. L’interaction de ces particules avec les matériaux constituant les circuits intégrés est à l’origine d’effets singuliers ou d’effets de dose qui peuvent altérer la fiabilité des systèmes en induisant différents types de défaillances à l’échelle des fonctions électroniques élémentaires, et mettre en péril les missions satellitaires. En vue de prédire les taux d’évènement au cours d’une mission ou la durée de vie des composants en environnement radiatif, préalablement à leur intégration dans une application spatiale, il est nécessaire de comprendre les mécanismes physiques induits et de caractériser le fonctionnement des composants sous irradiation.Dans ce contexte, nous présentons l'élaboration et la mise en oeuvre de méthodes de caractérisation de la sensibilité des mémoires dynamiques SDRAM DDR3 aux effets des radiations en vue de leur future intégration dans des modules mémoires pour application spatiale. Le développement d’un banc de test fonctionnel et paramétrique compatible avec différents moyens d’irradiations est présenté. Les résultats d’essais obtenus sous rayonnement gamma, sont analysés et complétés par une estimation de la sensibilité des composants obtenue sous rayons X. Une campagne de caractérisation sous ions lourds, associée à l’utilisation d’un outil laser, permet de présenter une analyse comparative de la sensibilité des composants aux évènements singuliers. La complémentarité de ces techniques ainsi que les avantages et inconvénients des outils laser et rayons X sont discutés. / Electronic components, embedded in space applications, are exposed to different types of particles that make up the space radiation environment. The individual or cumulative interaction of these particles with the integrated circuits materials is the source of single-event effects or dose effects that can alter the reliability of the systems by inducing different types of failures at basic electronic functions level and threaten the mission success. In order to predict the event rate during a mission or the components lifetime in a radiative environment, prior to their integration into a space application, it is necessary to model these failures and to characterize the functioning of the components under irradiation.In this context, the objectives of this thesis are the development and implementation of models and methods for characterizing the sensitivity of DDR3 SDRAM memories to the radiation effects for their future integration into memory modules for space applications. The development of a functional and parametric test bench compatible with various irradiation facilities is presented. Results obtained under gamma radiation, are analyzed, and supplemented by sensitivity estimation using X-rays. A characterization campaign under heavy ions, combined with laser testing, allows us to present comparative analysis of the components SEE sensitivity. The complementarity of these

Depuis l’apparition du circuit intégré, la performance des dispositifs semi-conducteurs est reliée à leur miniaturisation via le développement de procédés spécifiques tels que la lithographie. Néanmoins, la réduction des dimensions des dispositifs aux échelles nanométriques rend les étapes de patterning de plus en plus complexes et coûteuses (EUV, gestion de plusieurs passes de masque par couche et erreur de placement du/des masque(s) …) et pousse les fabricants de puces à se tourner vers des méthodes alternatives. Dans le but de réduire les coûts de fabrication des circuits intégrés, une approche bottom-up reposant sur l’utilisation de procédés de dépôts sélectifs est désormais envisagée, au détriment des approches conventionnelles top-down basées sur les procédés de lithographie. La solution de dépôt par couche atomique (ALD) est une technique appropriée pour le développement d’un procédé sélectif en raison de sa très grande sensibilité à la chimie de surface. Ce procédé est appelé dépôt sélectif de zone (ASD pour Area Selective Deposition). Il est basé sur un traitement spécifique d'activation ou de désactivation des réactions chimiques de surface avec le précurseur et/ou le réactif en mode ALD. Ces modifications de réactivité peuvent être obtenues en utilisant une couche de germination (activation) ou des groupes organiques tels que des monocouches auto-assemblées (SAM) (désactivation). Une autre voie est de tirer parti du retard inhérent à la croissance (ou temps d’incubation) sur différents substrats. Dans cette thèse, nous avons développé un nouveau procédé ASD d’oxyde métallique en combinant un dépôt de couche atomique et une étape de gravure qui permet de bloquer la croissance sur substrat à base de silicium (Si, SiO2 et SiN) versus un substrat métallique (TiN). L'étape de gravure est réalisée par addition de NF3 dans un plasma d'oxygène tous les n cycles du procédé PEALD. Nous avons utilisé ce procédé pour le dépôt de deux oxydes actuellement à l'étude pour les applications de mémoires résistives non-volatiles : Ta2O5 et TiO2. Le but des dépôts sélectifs pour l'application mémoire est de réaliser des points mémoires localisés métal/isolant/métal en intégration 3D verticale dite VRRAM. / At advanced nodes, lithography starts to dominate the wafer cost (EUV, managing multiple mask passes per layer and pattern placement error….). Therefore, complementary techniques are needed to continue extreme scaling and extend Moore’s law. Selective deposition and etching is one of them because they can be used to increase and enhance patterning capabilities at very low cost. From all the different deposition processes, Atomic Layer Deposition (ALD) is maybe the most suitable technique to develop a selective process due to its very good coverage property and its high surface sensitivity. This process is called Area Selective Deposition and is a selective deposition process for bottom-up construction It is usually based on a specific surface activation or deactivation treatment in order to activate or limit / inhibit chemical reactions with the ALD precursor / reactant. This surface modifications are usually obtained by using seed layer (activation) or organic groups such as Self-Assembled Monolayers (SAM) (deactivation). Another pathway for selective area deposition with ALD is to take advantage of the inherent substrate-dependent growth initiation: this is inherent selectivity based on difference of nucleation delay. In this thesis, we have proposed a new ASD process of thin oxide by combining atomic layer deposition and etching step (super-cycle) for a 3D Vertical RAM integration. This allows the selective growth of a thin oxide on a metal substrate without deposition on an insulator and/or a semi-conductor substrate(s). The etching step is achieved by NF3 addition in an oxygen plasma every n cycles of the PEALD process allowing (1) to etch the oxide layer on Si and/or SiO2 surface while keeping few nanometers of oxide on TiN substrate and (2) to passivate this two surfaces and to add a new incubation time on Si or SiO2 substrates. We used this process for the deposition of two oxides that are currently under study for non-volatile resistive memories applications: Ta2O5 and TiO2. The intention for memory application is to realize a crosspoint memory in Back-End level from a pattern area or a trench area without the photolithography step.